Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Uludağ Üniversitesi, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2007
Tezin Dili: Türkçe
Öğrenci: TOLGA ÇAKMAK
Danışman: MUHSİN KILIÇ
Özet:Bu çalışma, Belçika’da SBO 030288 PowerMEMS projesi tarafından desteklenmiştir.