Nucleation and Growth Mechanism of Al2O3 Thin Films Formed by Atomic Layer Deposition and Sequential Vapor Infiltration

AKYILDIZ H. İ., Mousa M., Parsons G., Jur J. S.

13th MRS/ASM/AVS/AReMS Joint Symposium at NCSU, Raleigh, NC, Amerika Birleşik Devletleri, 15 Kasım 2011, (Özet Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Raleigh, NC
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Bursa Uludağ Üniversitesi Adresli: Evet