Growth and Characterization of MoO3 Thin Films by Plasma Enhanced ALD


ODACI C., DEMİRTAŞ M., KOSKU PERKGÖZ N., AY F.

14th Nanoscience and Nanotechnology Congress, İzmir, Türkiye, 22 Ekim - 25 Kasım 2018

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: İzmir
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Bursa Uludağ Üniversitesi Adresli: Hayır