Optical Properties of Erbium Oxide Thin Films on Si by PEALD

DEMİRTAŞ M., KOSKU PERKGÖZ N., SEVİK C., AY F.

13th Nanoscience Nanotechnology Conference, 22 - 25 Ekim 2017

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Bursa Uludağ Üniversitesi Adresli: Hayır