Infiltration Dynamics of Reactive ALD Precursor Exposure to Polymers

AKYILDIZ H. İ., Jur J. S.

12th International Conference on Atomic Layer Deposition, Dresden, Almanya, 15 Haziran 2012

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Dresden
  • Basıldığı Ülke: Almanya
  • Bursa Uludağ Üniversitesi Adresli: Evet