Investigation of optimization parameters of ALD grown Al2O3 for Integrated Optical Circuits

DEMİRTAŞ M., Ayberk Ö., AY F.

10th Nanoscience and Nanotechnology Conference, Türkiye, 17 - 21 Haziran 2014

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Bursa Uludağ Üniversitesi Adresli: Hayır