The Effect of Mesa Dimensions on MEMS Diaphragms for Fabry-Perot Interferometer Based Fiber Optic Sensors


Durmaz A., Hayber Ş. E., Aydemir U.

Uludağ Üniversitesi Mühendislik Fakültesi Dergisi, cilt.28, sa.1, ss.177-192, 2023 (Hakemli Dergi) identifier