Design and realization of ALD grown AL2O3 waveguides for applications in silicon based photonics

Tez Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Anadolu Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Anabilim Dalı, Türkiye

Tez Danışmanı: Feridun Ay

Tezin Onay Tarihi: 2014

Tezin Dili: İngilizce